久久久久久久发综合伊人,国产精品sv一区二区三区,日本一区二区三区四区视频,动漫精品无码

UV紫外線燈如何應(yīng)用于晶圓光擦除領(lǐng)域?

日期:2021-07-14 09:39 瀏覽:8318

晶圓(wafer) 是制造半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)性原材料。高純度的半導(dǎo)體經(jīng)過(guò)拉晶、切片等工序制備成為晶圓,晶圓經(jīng)過(guò)一系列半導(dǎo)體制造工藝形成極微小的電路結(jié)構(gòu),再經(jīng)切割、封裝、測(cè)試成為芯片,廣泛應(yīng)用到各類電子設(shè)備當(dāng)中。 晶圓材料經(jīng)歷了 60 余年的技術(shù)演進(jìn)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展,形成了當(dāng)今以硅為主、新型半導(dǎo)體材料為補(bǔ)充的產(chǎn)業(yè)局面。

據(jù)悉:全世界80%的手機(jī)和電腦由中國(guó)生產(chǎn)。中國(guó)的高性能芯片95%依靠進(jìn)口,于是中國(guó)每年要花費(fèi)2200億美元去進(jìn)口芯片,該數(shù)額為中國(guó)全年石油進(jìn)口額的2倍。所有與光刻機(jī)和芯片生產(chǎn)相關(guān)的設(shè)備和材料也受到封鎖,比如晶圓片、高純金屬、刻蝕機(jī)等等。

今天,就讓小編好好科普一下關(guān)于晶圓機(jī)UV光擦除原理吧!這樣我們才能更加深入了解晶圓機(jī)的構(gòu)造,也能幫助大家理解晶圓機(jī)光擦除技術(shù)是如何發(fā)展進(jìn)步的!

UV擦寫原理?

在數(shù)據(jù)寫入時(shí),需要通過(guò)給柵極加上高電壓 VPP ,如下圖所示,向浮置柵注入電荷。注人后的電荷由于不具備穿透硅氧化膜能壁的能量,因而只能維持現(xiàn)狀,所以我們必須給予電荷一定的能量!而這時(shí)候就需要用到紫外線了。

1626140596(1).jpg

當(dāng)浮置柵接收到紫外線的照射,浮置柵中的電子接收了紫外線光量子的能量,則電子變成具有穿透硅氧化膜能壁能量的熱電子。如圖 所示,熱電子穿透硅氧化膜,流向基板和柵極,恢復(fù)為擦除狀態(tài)。擦除操作,只能通過(guò)接收紫外線的照射來(lái)進(jìn)行,而不能進(jìn)行電子擦除。也就是說(shuō),只能夠進(jìn)行由 “ 1 ” 向 “ 0 ” 改變比特?cái)?shù),而在反方向上.除擦除芯片全部?jī)?nèi)容的方法以外,再?zèng)]有其他的方法。

1626140620(1).jpg

我們知道,光的能量與光的波長(zhǎng)成反比例關(guān)系,為了讓電子成為熱電子,從而具有穿透氧化膜的能量,就非常需要波長(zhǎng)較短的光即紫外線的照射。由于擦除時(shí)間決定于光量子的數(shù)目,因而即使在波長(zhǎng)較短的情況下,也不能縮短擦除時(shí)間。一般地,當(dāng)波長(zhǎng)為 4000A ( 400nm )左右時(shí)才開(kāi)始進(jìn)行擦除。在 3000A 左右基本達(dá)到飽和。低于 3000A 以后,波長(zhǎng)即使再短,對(duì)于擦除時(shí)間也不會(huì)產(chǎn)生什么影響。

1626140638(1).jpg

1626140657(1).jpg

(晶圓用UV燈的波譜圖)

UV擦除的標(biāo)準(zhǔn)一般為接受精準(zhǔn)波長(zhǎng)的 253.7nm ,強(qiáng)度 ≥16000 μ W /cm2的紫外線 30 分鐘至3小時(shí)不等的照射時(shí)長(zhǎng),即可完成其擦除操作。

自從 2014 年至今,朗普成功為多家深圳晶圓加工企業(yè)提供 UV 光擦除裝置,降低了晶圓加工成本,光強(qiáng)衰減小,質(zhì)量穩(wěn)定。隨著朗普對(duì) UV 光擦除裝置的不斷研究與發(fā)展,肯定能為晶圓行業(yè)、芯片制造行業(yè)帶來(lái)更多新的希望!

朗普LOGNPRO晶圓光擦除UV裝置?

設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品名稱

晶圓光擦除UV裝置

型號(hào)

UV-ERX1

輸入電壓

AC220V 50/60Hz

設(shè)備功率

1500W

初始紫外照度(254nm)

出廠紫外強(qiáng)度≥50000μW/cm2(微瓦每平方厘米)

擦除時(shí)間

擦除時(shí)間(s)=紫外線能量(uj/cm2)/光照強(qiáng)度(μW/cm2)(注:根據(jù)客戶實(shí)際給出的能量計(jì)算即可)

裝載晶圓片數(shù)量

4個(gè)8英寸或1個(gè)12英寸

設(shè)備尺寸

外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高)

98cm×98cm×53cm

托盤尺寸(長(zhǎng)×寬)

75cm×63cm

有效照射區(qū)域(長(zhǎng)×寬)

70cm×52cm

機(jī)器重量

30KG


国内精品久久69人妻无码 | 亚洲五月综合缴情综合久久 | 国产精品久久一区二区三区 | 成人麻豆亚洲综合无码精品 | 亚洲日本一区二区一本一道 | 国产一区二区三区免费观看 | 中文字幕 日韩 人妻 无码 | 亚洲国产午夜精品大秀视频 | 久久99精品国产麻豆蜜芽蜜柚 | 91久久综合亚洲鲁鲁五月天 | 国产无套内射久久久国产 | 中文人妻AⅤ一区二区三区 午夜无码片在线观看影院 国产午精品夜亚洲不卡网站 | 精品亚洲国产成AV人片传媒 | 69性影院在线观看国产精品 | 日韩精品一区二区亚洲AV观看 | 无码视频一区二区三区四区 | 在线看片无码永久免费Av | 国产黄A三级三级三级老师 午夜精品久久久久久久 | 久久久久人妻精品一区三寸 | 国产精品久久无码一区二. 特级精品毛片免费观看 | 中文字幕在线2021一区 | 亚洲视频日本有码中文 | 精品丰满人妻无套内射 | 欧美精品一二三区较多收藏 | 国产欧美日韩另类精彩视频 | 精品久久人妻av中文字幕 | 久久久久久国产精品无码下载 | 无码专区中文字幕无码 | 爽到高潮无码视频在线观看 | 国产精品伦一区二区三级视频 | 在线观看国产精品入口女 | 国产裸体美女永久免费无遮挡 | 中文字幕无码不卡在线视频 | 国产激情动作小说在线观看 | 国产精品国产三级国产三不 | 亚洲Av自慰白浆喷水网站 | 亚洲精品白浆高清久久久久久 | 一级一级一级毛片免费毛片 | 欧美日韩人妻精品一区二区三区 | 一区二区三区无码按摩精油 | 国产按头口爆吞精在线视频 |